真空爐的泄漏率是指氣體從外部進(jìn)入爐腔的速率，從而損害爐腔的真空環(huán)境。可接受的泄漏率取決于應(yīng)用、爐設(shè)計(jì)和所需的真空水平。

高真空真空爐

真空爐典型泄漏率：

一般標(biāo)準(zhǔn)：

對(duì)于大多數(shù)工業(yè)真空爐，可接受的泄漏率約為 1 x 10?? 至 1 x 10?? mbar·L/秒。

對(duì)于超高真空 (UHV) 系統(tǒng)，可接受的泄漏率可能低至 1 x 10?? mbar·L/秒或更低。

實(shí)際范圍：

高真空爐：~1 x 10?? mbar·L/秒。

超高真空爐：~1 x 10?? 至 1 x 10?? mbar·L/秒。

立式真空爐

影響真空爐泄漏率的因素：

1、密封件：

密封件(例如 O 形環(huán)、金屬墊圈)的質(zhì)量及其材料會(huì)顯著影響泄漏率。

與金屬密封件相比，彈性體密封件的滲透性可能更高。

2、結(jié)構(gòu)材料：

真空密封材料(如不銹鋼)具有最小的排氣量，可減少泄漏。

3、腔體設(shè)計(jì)：

焊接和拋光腔體的固有泄漏量低于螺栓設(shè)計(jì)。

4、使用年限和維護(hù)：

由于磨損、密封件退化或污染，泄漏量可能會(huì)隨著時(shí)間的推移而增加。

5、測(cè)試泄漏率：

氦氣泄漏檢測(cè)法通常用于測(cè)量和驗(yàn)證泄漏率。

測(cè)試包括在潛在泄漏點(diǎn)附近引入氦氣，同時(shí)使用質(zhì)譜儀監(jiān)測(cè)氦氣進(jìn)入真空腔體的速率。

6、特定應(yīng)用要求：

冶金熱處理：略高的泄漏率可能是可以接受的。

半導(dǎo)體或先進(jìn)材料：極低的泄漏率對(duì)于保持敏感工藝的原始真空至關(guān)重要。

將真空爐保持在規(guī)定的泄漏率內(nèi)對(duì)于確保工藝一致性、產(chǎn)品質(zhì)量和運(yùn)行效率至關(guān)重要。定期維護(hù)和泄漏測(cè)試對(duì)于實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)至關(guān)重要。